Dispositivo de bombeamento de vácuo de gás SF6 HYKS-1000/300

Esta bomba de vácuo é uma bomba de vácuo de palhetas rotativas com acoplamento direto-. Consiste em um rotor montado dentro da câmara do estator e duas palhetas que deslizam dentro das ranhuras do rotor. Pressionadas firmemente contra a parede do cilindro pela força da mola e pela força centrífuga, as duas palhetas separam o espaço interior em lados de admissão e escape. À medida que o rotor gira continuamente em uma direção fixa, a câmara lateral-de entrada se expande ciclicamente para aspirar o gás, enquanto a câmara lateral-de exaustão se contrai gradualmente para comprimir o gás-extraído. O gás comprimido é então expelido através da válvula de escape, atingindo assim a finalidade de evacuação do gás. Esta bomba adota uma estrutura de dois-estágios. Quando a pressão de entrada é relativamente alta, ambos os estágios descarregam gás da câmara da bomba simultaneamente. Quando a pressão de entrada é baixa, o gás entra no estágio de alta-pressão através da entrada, flui para o estágio de baixa-pressão através da passagem de ar entre-estágios após a compressão primária e é finalmente descarregado através da válvula de escape após a compressão secundária. Por esse motivo, ela pode fornecer um vácuo final mais alto do que bombas-de estágio único.